线宽为10nm量级氧化钛线的制备

摘要：

我们用扫描隧道显微镜(STM)在7nm厚的钛膜上加工出了线宽为10nm量级的氧化钛线,并重点讨论了氧化电压与扫描速率对氧化线宽的影响.

关键词： 扫描隧道显微镜 扫描速率 氧化钛线 氧化电压 STM 钛膜

作者: 黄萍 沈波 蒋建飞 蔡琪玉 程子川

作者单位: 上海交通大学微/纳米科学技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 374-376

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）