扫描近场光学显微镜及其应用

摘要：

扫描近场光学显微镜是近年来出现的一种新型光电测量仪器，其测量分辨率可超过衍射极限。该文介绍扫描近场光学显微镜的工作原理、仪器结构，并报道了用这种仪器测量半导体激光器特性的实验结果。

关键词： 扫描近场光学显微镜 光纤探针 空间分辨率

作者: 高春清

作者单位: 北京理工大学光电工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 展望21世纪初光电技术发展趋势研讨会

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 183～186

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）