扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜联用装置

关键词： 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 联用装置

作者: 李成基 李韫言 商广义 白春礼

作者单位: 科学院半导体研究所(北京) 科学院化学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 186～187

在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）