关键词： 扫描电镜技术 集成电集部析
作者: 葛岩 贾淑文 郝军 毕长青
作者单位: 微电子技术研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议
会议地点: 南宁
会议语种:中文
页码: 63～64
在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）