微硅电容式三维加速度计的设计和制作

摘要：

本文采用了一种高度对称的四梁结构,并利用该结构开发了一种电容式三维加速度计.我们用有限元分析工具ANSYS 5.4对器件进行了模拟,模拟的结果显示该器件可以同时检测三个方面的加速度,在Z、X和Y轴三个方面的灵敏度分别约为7.66 fF/g,6.08 fF/g和6.08 fF/g.此外,在三个方面的偏轴灵敏度大约都为零.最后,我们给出了具体的工艺流程.

关键词： 三维加速度计 零偏轴灵敏度 微电子机械系统

作者: 李刚 微米/纳米加工技术国家重点实验室 李志宏 微米/纳米加工技术国家重点实验室 田大宇 微米/纳米加工技术国家重点实验室 武国英 微米/纳米加工技术国家重点实验室

作者单位: 北京大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 243-245

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）