光学接触式微型三维测量系统

摘要：

该文介绍一种集光学方法的高精度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统，用于测量“亚宏观”微小型工件（百微米至几个毫米尺度范围）的尺寸和形状。该系统测头直径为４０μｍ至１００μｍ，测量精度小于１μｍ，测量力小于１０μＮ。并首次给出此系统对直径２１４μｍ微小孔尺寸和形状的测量结果。

关键词： 三维测头系统 微型测头系统 光学接触式方法 微小工件的测量

作者: 吉贵军 H.S

作者单位: 大学 联邦物理技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 260～265

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）