关键词： 布气技术 等离子体 气相沉积
作者: 黄邵江 谢红希 侯惠君
作者单位: 有色金属研究院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 236～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）