柔性精密定位系统的研究

摘要：

描述了一个应用于光刻工艺的精密定位系统的总体组成,对其光-机-电一体化的设计思想、系统硬件实现及提高系统柔性而设置的功能等均作了详细论述.

关键词： 柔性精密定位系统 智能仪器

作者: 宣明 陈斌 刘智

作者单位: 长春光学精密机械研究所(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 740-743

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）