溶胶--凝胶法制备V<,2>O<,5>薄膜的气敏特性研究

摘要：

该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V<,2>O<,5>薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了V<,2>O<,5>晶体。掺3wt℅Pt的V<,2>O<,5>薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为5.5V时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选择性，NH<,3>、H<,2>、CO、CH<,3>COCH<<3>等气体不干扰元件的测量。元件的响应时间为15s，恢复时为5s。

关键词： 溶胶-凝胶法 V<,2>O,,5>薄膜 气体传感器 气敏特性

作者: 侯凤琴 张英兰 童茂松

作者单位: 中科院长春光机与物理研究所(长春) 吉林大电子工程系,集成光电子国家重点联合实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 187～189

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）