热电红外探测器用铁电薄膜的制备与特性研究

摘要：

应用溶胶-凝胶法成膜技术，用金属盐和部分金属醇盐与醋酸盐混合物制备了BaSrTiO<,3>（BST）薄膜，其中组分为Ba<,0.7>Sr<,0.3>Ti<,0.3>薄膜，介电常数高，C-V特性较好，另外还制备了BaSr（ZrTi）O<,3>（BSZT）薄膜，发现Zr的掺入，增加了凝胶的稳定性，并提高了薄膜的介电常数。

关键词： 溶胶-凝胶法 BST BSZT 铁电簿膜

作者: 邓希敏 刘明登

作者单位: 师范大学新技术新材料研究所(桂林) 大学硅材料国家重点实验室(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 546～547

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）