生产CVD金刚石的装置

摘要：

设计了一种生产金刚石膜片的装置，每次可生产六片19～38cm<”2>的金刚石膜片，该装置是由六个相同的真空室组成，既可同时工作又可单独工作，并可利用计算机进行自动控制。其中配有特殊的灯丝工装，保证停电时灯丝不断，工作时灯丝永远处于直线状态，任何人均可用该装置按特定的工艺生产金刚石膜片，工艺稳定，重复性好，成品率高。

关键词： 人造金刚石 金刚石

作者: 曲承林 朱永祥 谢广文 刘元生

作者单位: 青岛金诚金刚石有限公司 青岛化工学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年第二届表面工程国际会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 221-222

在线出版日期: 1999-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）