CVD合成金刚石的沉积方法和检测手段

摘要：

该文既评述了化学气相沉积法（CVD）合成人造金刚石薄膜的主要沉积方法；也讨论了各种现代测试分析技术在CVD合成金刚石薄膜领域的应用和作用；并展望了它们的发展趋势。

关键词： 人造金刚石 化学气相沉和 沉积方法 测试分析

作者: 郑怀礼 高杰

作者单位: 建筑大学基础科学系 师范学院化学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1028～1030

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）