人体静电是微电子器件损伤的主要原因

摘要：

带静电的人体手持小金属工具、物件操作过程中，对微电子器件放电造成微电子器件的介质击穿、PN结破坏、布线膜融熔、内引线烧坏等等，危害相当严重。采取静电防护技术解决静电危害刻不容缓。

关键词： 人体静电 静电放电 静电防护技术

作者: 王万禄 梁礼海

作者单位: 中国兵器工业总公司晋东化工厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第八届静电学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 145-148

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）