关键词： CH<,4> C<,6>H<,6> 制备 类金刚石 薄膜 成膜条件 甲烷
作者: 严学俭 梁风 刘斌 盛陵海
作者单位: 大学材料科学系 大学材料科学系Y
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 194～195
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）