CH<,3>CSNH<,2>钝化处理GaP表面的XPS分析

关键词： CH<,3>CSNH<,2> 钝化处理 GaP 表面分析 XPS分析

作者: 林秀华 江炳熙 徐富春 陈丽容

作者单位: 厦门大学物理系表面物理化学国家重点实验室(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 28-28

在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）