会议专题

热循环离子渗氮的快渗机制

根据热循环离子渗氮(INTC)过程渗层生长动力学特性和表面相组分的变化规律,分析了辉光放电等离子对热循环催渗的增强作用,提出了离子轰击、循环变温过程相的溶解和表面()相的反复出现导致内循环扩散速度加快的机制,指出INTC的深层快渗效果系集离子渗氮与热循环催渗二者之长所致。

热循环 离子渗氮 扩散速度 快渗机制

邓光华 邓光华 王慧霞 吴万国

福州大学材料系 福州大学测试中心

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1998-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)