光调制红外热像仪的设计与有限元模拟

摘要：

该文描述的新型热像仪是一种基于微机机械技术的光调制热成像系统，它采用光调制原理来实现转换和像增强，其核心是一个采用与CMOS工艺相容的微机械技术制作的光调制热成像器件。

关键词： 热像仪 光调制热成像器件 红外传感 光高制 微机械

作者: 张流强 杨根庆 解健芳

作者单位: 中科院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 149～152

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）