关键词： 热丝法 硅薄膜 化学反应动力学
作者: 郭晓旭 朱美芳
作者单位: 科技大学研究生院物理系(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 42～43
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）