热激电流(TSC)测量系统及应用

摘要：

介绍热激电流测试方法，并用该方法测量了ＳＩ－ＧａＡｓ材料的ＴＳＣ特征谱图。同时对ＳＩ－ＧａＡｓ的深能级中心的行为进行了初步的分析。

关键词： 热激电流 SI-GaAs 缺陷

作者: 郑庆瑜 王良 孙毅之

作者单位: 产业部电子第四十六研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 7～9

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）