全内反射全息光刻实验研究

摘要：

阐述了全息光刻技术的基本原理、类型和优越性。介绍了全内反射全息光刻实验装置，给出和分析了实验结果。

关键词： 全息照相 光刻技术 全息光刻 全内反射全光刻

作者: 冯伯儒 张锦 侯德胜

作者单位: 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 293～296

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）