一体化结构的全光型硅微谐振器

摘要：

一体化结构的全光型硅微谐振器引入了集成光学技术，具有独立的拾振光路和简单易行的拾振方式。可以完全脱离光学平台运作。实验测量及理论分析证实了该谐振器具有光纤与振子间未对准误差容限较大，输出测量信号与光纤有效光学长度无关及振子谐振频率受硅片内应力影响比较小等特点。

关键词： 全光型 悬臂梁 微谐振器 脊型波导

作者: 丁纯 喻浩

作者单位: 大学信息与电子工程学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会”98敏感技术学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 124～128

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）