FZ14-1型区熔单晶炉的改进

摘要：

为了满足市场对Φ４英寸单晶的需求，我们针对ＦＺ１４－１型区熔单晶炉在Φ４英寸单晶生长过程中常出现的问题，经过分析进行了改进，基本消除了在拉制Φ４英寸单晶时常出现的如线圈紧固螺钉变色或熔断、高频炉跳闸、线圈打火等异常现肝效地提高了用ＴＯＰＳＯＥ ＦＺ１４－１型区熔炉拉制Φ４英寸单晶的成功率。

关键词： 区熔 单晶炉 改进

作者: 梁书正 陈勇刚 孙华英

作者单位: 有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 264～265

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）