用球面共焦Fabry-Perot干涉仪测量微振动

摘要：

该文介绍了一种光学非接触测量超微振动方法。球面共焦Fabry-Perot干涉仪（简称球面F-P干涉）具有高灵敏度、集光能力强和易于调整等特点，利用其特点设计了一套微振动测量系统，并采用自动稳腔长的方法，使系统具有良好的稳定性；通过实验，检测出5MHz脉冲压电换能器产生的微振动波形。

关键词： 球面F-P干涉仪 微振动 非接触测量 振动测量系统 球面共焦

作者: 杨勇 胡小唐 禹国强 齐鹏

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 123-125

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）