双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究

摘要：

介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法（简称双阴极辉光放电法）及其基本原理。采用此法在Ｓｉ、Ｍｏ、Ｔｉ等基片上合成了金刚石薄膜的立方氮化硼薄膜。

关键词： 不等电位空心阴极效应法 双阴极辉光放电法 功能薄膜

作者: 田林海 贺琦 潘俊德 赵晋香 范本惠

作者单位: 理工大学表面工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七次全国热处理大会

会议地点: 洛阳

会议语种:中文

页码: 193～196

在线出版日期: 1999-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）