基于图象处理的自动调焦方法中清晰度判据函数的研究
图象处理法是一种比较理想的自动调焦方法，其核心就是清查找茺判据函数的选择。该文总结多年研究成果，介绍了清晰度判据函数的分类和几种常用的判据函数：基于图象直方图、基于图象微分和基于图象对比度的判据函数，并提出了一种基于图象积分的判据函数--功率积分函灵敏，详细介绍了它的原理。利用在行研制的大规模集成电路线宽测量系统，选用不同的测量对象和测量参数，对各种判据小孩子数的单峰性、准确性、重复性、调焦范围等调焦性能进行了测试和分析，绘制了调焦曲线，给出了分析结果。
清查找茺判据函数 图象处理 自动调焦 功率积分函数
白立芬 于水 薛实福 李庆祥
清华大学精密仪器系(北京)
国内会议
成都
中文
85-86,89
1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）