轻拍式探针定位技术研究

摘要：

该文首先由理论分析导出薄片压电陶瓷激振的悬臂式轻拍探针的振幅－频率表示式，它为振幅或频率测量的轻拍式探针用于表面瞄准或定位技术提供理论依据。在上述基础上同时作了大量实验，由获得的实验数据一方面验证了理论分析的适用性，另外也提出了最佳定位点的存在以及它的判别方法。

关键词： 轻拍式探针 悬臂梁激振 定位技术

作者: 朱若谷

作者单位: 计量学院(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 469～473

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）