关键词： 强流氧离子注入机 真空系统 抽气时间
作者: 肖仁耀
作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 239～243
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）