ＬＣ１１型砷化镓专用强流离子注入机机房设计

摘要：

介绍了ＬＣ－１１型砷化镓专用强流离子注入机机房结构设计、外现造型、彩色配置等主要内容，实践证明该机房设计具有操作维修方便、造型美观、色彩协调、新颖等特点，获得了用户的好评。

关键词： 强流离子注入机 机房 结构设计 造型设计

作者: 宁宗娥

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 278～284

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）