薄膜应变栅称重传感器的研制

摘要：

本文运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。

关键词： 薄膜应变栅 称重传感器 滞后 蠕变

作者: 于映 陈跃

作者单位: 大学电子科学与应用物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第四届青年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 374～376

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）