透明导电ITO和ZAO薄膜中的尺度效应

摘要：

通过对ＩＴＯ和ＺＡＯ薄膜尺度效应对其电阻率和可见光区透射率的研究，表明了重掺杂半导体薄膜的尺度效应同时考虑经典尺寸效应和表面电场效应。尺度对可见光区透射率的影响是由透明导电薄膜在可见光区本构参数ｋ趋近于０决定的。

关键词： 薄膜性质 尺度效应 半导体薄膜

作者: 陈猛 黄荣芳 闻立时

作者单位: 科学院金属研究所(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 224～226

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）