区熔再结晶法制备多晶硅薄膜的研究

摘要：

本文概述了区熔再结晶(ZMR)方法的应用,利用该方法获得了取向一致的晶体硅薄膜.为薄膜电池的制备打下了良好的基础.

关键词： 薄膜太阳电池 区熔再结晶法 多晶硅薄膜

作者: 许颖 罗欣莲 励旭东 王文静 于元 李仲明

作者单位: 北京市太阳能研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 131-133

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）