SMA/Si复合驱动膜的温度场仿真研究

摘要：

本文利用有限元方法对SMA/Si复合驱动膜的温度场进行了仿真研究.研究表明,在周期性加热情况下,在驱动膜稳定工作后,Si框的温度会稳定在一个与膜内温度相当的较高值,而驱动膜内各处温度则在一固定的范围内随电脉冲周期振荡,各处振荡的幅度差别很大,中心温度的振幅最大.在驱动膜内存在较大的温度梯度,在膜框结合处附近的温度梯度最大.

关键词： 薄膜驱动器 温度场仿真 有限元分析 复合驱动膜

作者: 陈鉴 王莉 徐东 程秀兰 蔡炳初

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 68-70

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）