深亚微米半导体器件数值模拟方法的研究

摘要：

本文对半导体器件模拟中所涉及到的一些关键问题进行了系统研究。提出了适合于深亚微米半导体器件的流体动力学模型，及其面向对象的模拟软件分析与设计技术，初步探讨了基于CORBA平台下并行计算方案的实施及其有效性。

关键词： 器件模拟 流体动力学模型 面向对象并行计算

作者: 吴金 那斯尔江 杨廉峰 魏同立

作者单位: 大学微电子中心（南京）

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第四届青年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 415～418

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）