低能团簇束流制备纳米薄膜的结构和奇特性质

摘要：

低能束流团簇淀积（ＬＥＣＢＤ）方法制备多种纳米薄膜，具有一定奇特的结构和性质。该文重点讨论Ｔｅ团簇聚集成膜及其同激光相互作用特点。

关键词： 薄膜结构 超细粉 纳米材料 低能束流 团簇淀积 薄膜性质

作者: 王广厚 王朝晔 陈平平

作者单位: 大学固体微结构物理国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 232～234

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）