薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法

摘要：

本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系,采用差动测量技术,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成.该法具有精度高、温度稳定性好的特点.

关键词： 薄膜厚度 振荡频率 石英晶体 差动测量技术

作者: 李占锋 尚丽平

作者单位: 秦皇岛飞天汽车门制造有限公司(秦皇岛) 燕山大学(秦皇岛)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 99-100

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）