薄膜材料结构信息测试方法比较

摘要：

对薄膜材料结构测量的几种常规方法即：X射线衍射法、中子衍射法、能量过滤电子衍射分析法、计算机模拟法等在实验设备、样品的要求、数据的采集和处理、实验结果的准确性等方面做了比较，分析了各自的优缺点，为薄膜材料结构测量实验方法的选择提供参考。

关键词： 薄膜材料 约化密度函数 径向分布函数 测试方法

作者: 刘震云 王永瑞 黄伯云 曲选辉

作者单位: 中南工业大学粉末冶金研究所(长沙),上海交通大学材料科学系(上海) 上海交通大学材料科学系(上海) 中南工业大学粉末冶金研究所(长沙) 中业大学粉末冶金研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 84～87

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）