掺磷纳米硅薄膜显微结构和电性研究

关键词： 薄膜材料 显微结构 超细粉 纳米材料 纳米硅薄膜 电学性能

作者: 徐刚毅 刘明 李国华 杨海强

作者单位: 航空航天大学材料物理与化学研究中心,兰州大学材料系 大学材料系 院北京半导体所超晶格与微结构国家重点实验室 院北京真空物理国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 100～104

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）