薄膜涂层厚度测定的球面方法

摘要：

对薄膜技术研究中常用薄膜厚度测定方法的实用性、可靠性、经济性进行了分析，提出一种新的专利方法--薄膜涂层厚度测定的球面方法。

关键词： 薄膜 厚度测量 球面方法

作者: 李健 韦习成 顾卡丽 高万振 秦襄培

作者单位: 武汉材料保护研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年第二届表面工程国际会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 200-202

在线出版日期: 1999-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）