纳米Si薄膜的压阻效应

摘要：

纳米Ｓｉ薄膜由大量的超微Ｓｉ晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，认为纳米Ｓｉ薄膜材料是一种优秀的传感器材料。

关键词： 薄膜 纳米Si薄膜 压阻效应

作者: 林鸿溢 武旭辉 林涛 李映雪

作者单位: 理工大学 大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 19～23

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）