纳米Si薄膜的压阻特性研究

摘要：

纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。

关键词： 薄膜 纳米S 薄膜 压阻效应

作者: 林鸿溢 何宇亮

作者单位: 北京理工大学电子工程系 南京大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 3～5

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）