压应力对制备立方氮化硼薄膜的影响

摘要：

该文利用薄膜的双轴应力模型，以压应力和衬底温度为自变量，计算了氮化硼薄膜中六角氮化硼（ｈＢＮ）转化为立方氮化硼（ｃＢＮ）时吉布斯自由能的改变量，据此讨论了压应力和衬底温度的大小对立方相形成的影响。

关键词： 薄膜 立方氮化硼薄膜 氮化硼 压力影响 吉布斯自由能

作者: 邓金祥 严辉 陈光华

作者单位: 工业大学应用物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 658～659

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）