用椭圆偏振法研究Cr<,2>N薄膜氧化层的厚度
采用空心阴极放电离子镀(HCD)技术,在硅基片上沉积Cr<,2>薄膜。用椭偏仪研究了Cr<,2>薄膜在大气环境里600°C的温度下,氧化层厚度随时间的变化关系。
薄膜 抗氧化性 椭偏仪
陈庆东 汤正新 成钢
洛阳工学院 桂林电子工业学院
国内会议
洛阳
中文
224~225
2000-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
薄膜 抗氧化性 椭偏仪
陈庆东 汤正新 成钢
洛阳工学院 桂林电子工业学院
国内会议
洛阳
中文
224~225
2000-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)