会议专题

用椭圆偏振法研究Cr<,2>N薄膜氧化层的厚度

采用空心阴极放电离子镀(HCD)技术,在硅基片上沉积Cr<,2>薄膜。用椭偏仪研究了Cr<,2>薄膜在大气环境里600°C的温度下,氧化层厚度随时间的变化关系。

薄膜 抗氧化性 椭偏仪

陈庆东 汤正新 成钢

洛阳工学院 桂林电子工业学院

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”2000全国高等工科院校物理教育学术研讨会

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2000-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)