金刚石膜热导率与织构方向的关系
制作高性能的热沉是金刚石膜应用的一个重要的方面。该文利用光热偏转法，测试了一系列金刚石膜样品的热导率，结合拉曼光谱，Ｘ射线衍射等手段，研究了用直流等离子体喷射化学气相沉积方法生长的织构金刚石膜的热导率与织构方向的关系。分析表明热导率与取向有系统性的联系，（１１０）取向的金刚石膜的热导率明显优于（１１１）取向的，对４０多块样品的结果都符合这一规律，这说明，至少在研究人员制备样品的手段和条件下，（１１０）取向是优于（１１１）取向的。选择性生长（１１０）取向的金刚石膜是批量生长高热导率金刚石膜的一种可能方案。研究人员对其机理进行了一些探讨。
薄膜 金刚石膜 热导率 取向度
叶祉渊 张纪法 罗廷礼
科学技术大学物理系(合肥) 省科学院中试基地(石家庄)
国内会议
北京
中文
663～665
1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）