金刚石膜中晶体取向与热导率关系研究

摘要：

热导率是金刚石膜应用中的一项主要技术指标。不同成膜工艺条件下制备的金刚石膜其热导率相差很大。直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜为任意取向膜。膜中（２２０）取向强度对热导率的影响更大。该文介绍满足某些条件以（１１１）为主的三向系或准三向系的Ｘ衍射图谱，利用图解法估算该金刚石膜径向热导率的方法及热导率与取向度Ｒ的关系。

关键词： 薄膜 金刚石膜 取向度 热导率

作者: 罗廷礼 张永贵 何奇宇 王志娜

作者单位: 省科学院中试基地(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 627～629

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）