关键词： 薄膜 溅射剥层 背散射
作者: 姜蕾 周筑颖
作者单位: 大学现代物理研究所基于加速器的原子物理和原子核物理实验室(上海
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 434～436
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）