光加热法用于YBCO薄膜淀积和处理初步实验

摘要：

用直流磁控溅方法用卤灯加热基片制备出了Tc～87～88K的YBCO超导薄膜。介绍了光 加热器的主要考虑及用于大面积薄膜制备的初步实验结果，对工艺中的有关问题进行了讨论。

关键词： 薄膜 光加热器 卤灯加热 直流磁控溅

作者: 汤延林 胡来平 张铮 刘兴华 张朝兴

作者单位: 合肥低温电子研究所(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 242～244

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）