YSZ薄膜的制备及应用

摘要：

研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性，实验表明，刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后，薄膜表面致密、均匀、无裂纹，具备良好的导电性能。YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO<,3>)<,2>辅助电极构成的NO<,x>气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定，能检测到10ppm量级的NO<,2>气体。

关键词： 薄膜 固体电介质 电导率 气体传感器 溅射镀膜

作者: 潘礼庆 王岭 孙加林

作者单位: 北京科大天宇微电子材料开发有限公司北京科技大学物理系(北京) 北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 372～376

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）