射频溅射沉积掺稀土元素CdTe薄膜的光电性能研究

摘要：

用射频溅射方法制备ＣｄＴｅ薄膜及掺杂某些稀土元素的ＣｄＴｅ薄膜，利用ＸＲＤ，紫外－可见分光光度计和霍尔系数测量研究了基片温度及稀土元素掺杂对薄膜结构和光电性能的影响。

关键词： 薄膜 镉碲薄膜 薄膜结构 薄膜性质 光能隙 溅射 光电效应

作者: 简基康 郑毓峰 马忠权 李东来 徐少辉

作者单位: 大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 360～363

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）