一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究
该文根据成膜原理和TiO〈,2〉的特性,提出了一种新型的TiO〈,2〉薄膜成型技术,并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明,该文所研制的TiO〈,2〉薄膜具有工艺简单,性能优良,成本低廉的优点,可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。
薄膜 二氧化钛 二氧化钛薄膜
孙宝臣 杜彦良 赵田臣
庄铁道学院
国内会议
北京
中文
206~208
1999-01-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)