一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究

摘要：

该文根据成膜原理和ＴｉＯ〈，２〉的特性，提出了一种新型的ＴｉＯ〈，２〉薄膜成型技术，并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明，该文所研制的ＴｉＯ〈，２〉薄膜具有工艺简单，性能优良，成本低廉的优点，可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。

关键词： 薄膜 二氧化钛 二氧化钛薄膜

作者: 孙宝臣 杜彦良 赵田臣

作者单位: 庄铁道学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 206～208

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）