c-BN簿膜沉积中的相转换

摘要：

该文结合实验结果提出一个c-BN薄膜沉积过程中相转变模型，解释了c-BN成核，即从h-BN（r-BN）向c-BN的相转变。

关键词： c-BN簿膜 相转变 成核

作者: 赵永年 邹广田

作者单位: 大学超硬材料国家重点实验室,超分子结构与谱学开放实验室(长春) 大学超硬材料国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 971～972

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）